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一种双脉冲技术柔性聚合物表面金属化设备及方法技术
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文档序号:39321411
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本发明公开一种双脉冲技术柔性聚合物表面金属化设备,包括真空腔室,真空腔室上连通有磁过滤器,磁过滤器固定连接有阳极筒,阳极筒固定连接有阴极靶法兰,阴极靶法兰上固定连接有阴极靶和阴极弧源,阴极靶上设置有旋转磁场,阳极筒上设置有触发针;阳极筒上缠...
该专利属于北京师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京师范大学授权不得商用。
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