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本发明涉及晶圆片的技术领域,具体为一种晶圆片均匀铺粉机,包括机架、用于放置晶圆片的放片盒、铺粉装置,所述铺粉装置包括原料筒、导向筒、铺料板,所述机架上竖直固定设置有第一气缸,所述第一气缸的伸缩轴上固定连接有放置座,所述导向筒固定设置在放置座...该专利属于厦门捷希自动化科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门捷希自动化科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及晶圆片的技术领域,具体为一种晶圆片均匀铺粉机,包括机架、用于放置晶圆片的放片盒、铺粉装置,所述铺粉装置包括原料筒、导向筒、铺料板,所述机架上竖直固定设置有第一气缸,所述第一气缸的伸缩轴上固定连接有放置座,所述导向筒固定设置在放置座...