下载基板、拉晶炉及其工作方法的技术资料

文档序号:39319373

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本发明提供了一种基板、拉晶炉及其工作方法,属于半导体制造技术领域。基板的制作方法,包括:制备具有超晶格结构的纳米片;对纳米片进行研磨,得到纳米粉体;将纳米粉体与纳米片在去离子水或乙醇中混合,在槽深不大于5厘米的容纳槽中进行沉降,形成织构结构...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

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