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本发明公开了一种用于疵病检测的暗场成像方法及装置，属于光学器件的成像技术领域。该暗场成像方法中辅助光源向反射镜发射明场光线，获得明场图像，再提取明场图像中明场疵病图案的中心线，根据中心线的第一偏角旋转检测台。LCD光源分别在旋转前与旋转后发...
该专利属于江西驰宇光电科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西驰宇光电科技发展有限公司授权不得商用。

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