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本发明公开了一种组合式相位显微成像测量系统，包括激光光源以及沿所述激光光源的光传播方向依次设置的第一分束器、第二分束器、第一反射镜、第三分束器和相机；以及与第二分束器间隔分布的第二反射镜和与第一分束器间隔分布的第三反射镜；第二分束器具有第一...
该专利属于板石智能科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过板石智能科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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