下载晶圆封装结构及其制备方法的技术资料

文档序号:39296247

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本发明属于半导体制造技术领域,公开了一种晶圆封装结构及其制备方法。该晶圆封装结构包括晶圆、连接层、硅透镜和锡球,连接层设于晶圆上;硅透镜包括底层和球面凸起部,底层通过连接层与晶圆键合连接,若干个球面凸起部间隔且均匀分布于底层远离连接层的一侧...
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