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本发明提供一种碳化硅及其退火装置和退火方法，所述退火装置包括用于给碳化硅施加压力的加重部、用于承载碳化硅的装载部和换气部；所述装载部的上部设有第一开孔，所述加重部通过所述第一开孔伸入所述装载部的内部与碳化硅接触，并对所述碳化硅施加压力；所述...
该专利属于江苏超芯星半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏超芯星半导体有限公司授权不得商用。

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