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本发明公开了一种AZO靶材及其制备方法，涉及靶材技术领域，包括以下重量份数的制备原料：氧化锌10份、氧化铝5份～8份、改性ITO 0.5份～0.8份和羧甲基纤维素0.4份～0.5份；改性ITO包括以下制备原料：10份氧化钇、1份～2份氧化镧...该专利属于株洲火炬安泰新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过株洲火炬安泰新材料有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种AZO靶材及其制备方法，涉及靶材技术领域，包括以下重量份数的制备原料：氧化锌10份、氧化铝5份～8份、改性ITO 0.5份～0.8份和羧甲基纤维素0.4份～0.5份；改性ITO包括以下制备原料：10份氧化钇、1份～2份氧化镧...