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本发明提供了一种用于晶圆传输的防滑装置及机械手指，其中该防滑装置包括：基座，开合滑块组，弹性限位滑块，插件滑块，所述基座内设有滑动腔，所述滑动腔内经导壁分别隔出纵横贯通的第一及第二滑道，且第一、第二滑道间保持间隔；所述开合滑块组的尾部在第一...
该专利属于上海广川科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。

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