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本发明的半导体制程的空中轨道系统用以供一运输车移动，包括一第一横向轨道、一第二横向轨道、一第一纵向轨道、一第二纵向轨道、一第三纵向轨道、一驱动装置及一第四纵向轨道。第二横向轨道与第一横向轨道平行且间隔排列。第一纵向轨道连接第一横向轨道及第二...
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