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一种在晶体硅单面制备硅尖的膏体材料制造技术
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文档序号:3927915
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本发明涉及一种在晶体硅单面制备硅尖的膏体材料。本发明利用晶体硅各向异性腐蚀的特性机理,提出一种非牛顿型的膏体材料,包括重量百分数分别为5%-60%,5%-35%和20%-60%的碱性物质、隔离屏蔽剂和有机溶剂。本发明的膏体材料组分简单,制备...
该专利属于蒋劼所有,仅供学习研究参考,未经过蒋劼授权不得商用。
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