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本公开是关于一种半导体测试结构及其制作方法，半导体测试结构包括待测半导体结构、接触件和第一金属层，多个晶体管呈阵列排布在阵列区中且至少一个晶体管为待测晶体管；第一金属层设置在待测半导体结构的上方，接触件设置在第一金属层和待测半导体结构之间且...
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