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本发明提供了一种基于离焦衍射场的大口径光学元件缺陷定位的装置及方法，使用一块大口径透镜，在透镜焦点附近的离焦位置采集离焦衍射场，通过该离焦衍射场实现了对大口径光学元件缺陷的定位。相比于传统的借助线扫描或面扫描的缺陷定位方式，我们的方法通过单...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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