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使用纳米颗粒形成包括含硅外延层超晶格的结构的方法和系统。示例性方法可以包括原位形成纳米颗粒并将纳米颗粒沉积到衬底表面上，从而形成外延层。从而形成外延层。从而形成外延层。
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