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本发明涉及半导体测试技术领域，更具体的说，涉及一种探针全方位测量装置及方法。本装置，包括3D扫描设备、吸取探针结构、载盘、夹取探针结构以及若干测量相机：载盘用于摆放所需测量的探针；3D扫描设备用于对探针进行形态扫描；吸取探针结构用于在扫描完...
该专利属于上海泽丰半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海泽丰半导体科技有限公司授权不得商用。

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