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本发明涉及一种可调谐垂直腔面发射激光器结构，其包括：垂直腔面发射激光器单元；与垂直腔面发射激光器单元接合的微机电系统装置；设置在垂直腔面发射激光器单元与微机电系统装置之间的可独立控制的压电材料结构；以及与垂直腔面发射激光器单元和微机电系统装...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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