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本发明公开了一种背面P/N型掺杂区隔离的IBC电池制造方法,P型单晶硅片经碱刻蚀抛光后,在背面依次沉积遂穿氧化层、掺杂薄多晶硅层,再局域激光开膜,接着依次沉积Al2O3层、氮化硅层,然后硅片清洗制绒,在正面沉积氮化硅层,再对背面激光开膜处局...该专利属于中节能太阳能科技(镇江)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中节能太阳能科技(镇江)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种背面P/N型掺杂区隔离的IBC电池制造方法,P型单晶硅片经碱刻蚀抛光后,在背面依次沉积遂穿氧化层、掺杂薄多晶硅层,再局域激光开膜,接着依次沉积Al2O3层、氮化硅层,然后硅片清洗制绒,在正面沉积氮化硅层,再对背面激光开膜处局...