下载背面P/N型掺杂区隔离的IBC电池制造方法的技术资料

文档序号:39251081

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本发明公开了一种背面P/N型掺杂区隔离的IBC电池制造方法,P型单晶硅片经碱刻蚀抛光后,在背面依次沉积遂穿氧化层、掺杂薄多晶硅层,再局域激光开膜,接着依次沉积Al2O3层、氮化硅层,然后硅片清洗制绒,在正面沉积氮化硅层,再对背面激光开膜处局...
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