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本发明涉及金属氧化物薄膜技术领域，更具体地，涉及一种氮掺杂氧化钇薄膜及其制备方法和应用。本发明的氮掺杂氧化钇薄膜的制备方法，通过采用磁控溅射制备氮掺杂氧化钇薄膜，包括预溅射和薄膜镀制；所述薄膜镀制的反应气体为氮气和氧气的混合气体，且氮气与氧...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

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