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本实用新型公开了用于检测气体中金属元素的取样系统，包括：气体进入管路，用于提供样品气或吹扫气；取样装置，包括气体容纳单元以及围绕在气体容纳单元外部的冷媒容纳单元，样品气或吹扫气由所述气体进入管路进入气体容纳单元，所述气体容纳单元设有延伸至外...
该专利属于烟台万华电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过烟台万华电子材料有限公司授权不得商用。

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