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本实用新型公开一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置，通过设置有加压冷凝装置对从安全液封罐排出的尾气进行加压、冷凝，将尾气冷凝至零下五度，并通过进料管通入氯硅烷液体进行洗涤，将尾气中大部分的氯化氢洗涤吸收分析出来，气体中少量的氯硅烷也被冷凝捕...
该专利属于新疆中部合盛硅业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新疆中部合盛硅业有限公司授权不得商用。

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