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本实用新型公开了一种喷淋加热装置，包括清洗模块和控制模块，所述控制模块位于所述清洗模块的一侧并且所述控制模块和所述清洗模块连接，所述清洗模块包括箱体、过滤单元、喷淋清洗单元、超声波清洗单元和加热单元，所述箱体的内部清洗空间通过所述过滤单元分...
该专利属于浙江艾科半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江艾科半导体设备有限公司授权不得商用。

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