下载多晶硅吸尘装置的技术资料

文档序号:39217475

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本实用新型涉及多晶硅吸尘装置,包括加工箱的底部固定连接有底座,且所述底座的底部靠近四角处均固定连接有连接柱,通过过滤箱、吸尘泵、第二密封门、吸尘头、软管这些部件的相互配合,便于对加工过程中的灰尘处理,通过设置旋钮、第二螺纹杆、压板便于对过滤...
该专利属于四川硅旺新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川硅旺新材料科技有限公司授权不得商用。

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