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反射镜模组、同步辐射装置及自由电子激光装置制造方法及图纸
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文档序号:39206038
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本申请公开了一种反射镜模组、同步辐射装置及自由电子激光装置,涉及同步辐射及自由电子激光技术领域。反射镜模组包括镜体和冷却结构,所述镜体具有上表面和与所述上表面连接的侧面,所述上表面为光束的反射面;所述冷却结构包括第一凹槽和冷却翅片,所述第一...
该专利属于深圳综合粒子设施研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳综合粒子设施研究院授权不得商用。
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