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一种短型旋转靶材矫直用辅助装置,包括具有阶梯轴结构的接长轴A和接长轴B,接长轴A和接长轴B分别插接在旋转靶材的两端;阶梯轴结构中,直径较大的轴径与旋转靶材的外径相同,直径较小的轴径与旋转靶材的内径相同,接长轴A与接长轴B之间通过螺杆同轴连接...该专利属于洛阳汇晶新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳汇晶新材料科技有限公司授权不得商用。
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一种短型旋转靶材矫直用辅助装置,包括具有阶梯轴结构的接长轴A和接长轴B,接长轴A和接长轴B分别插接在旋转靶材的两端;阶梯轴结构中,直径较大的轴径与旋转靶材的外径相同,直径较小的轴径与旋转靶材的内径相同,接长轴A与接长轴B之间通过螺杆同轴连接...