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本发明提供了一种硅片对准标记的检测定位方法，先建立知识库，所述知识库中具有若干种已知对准标记的第一检测图像的第一特征信息，然后获取待测对准标记的第二检测图像的第二特征信息，将所述第一特征信息与所述第二特征信息逐项进行相似性比对，并根据比对得...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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