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用于半导体功率模块的金属衬底结构和制造金属衬底结构的方法以及半导体功率模块技术
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文档序号:39192637
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一种用于半导体功率模块的金属衬底结构(10)包括金属顶层(11),该金属顶层具有由金属顶层(11)的边缘(14)限制的至少一个凹部,其中,金属顶层(11)进一步包括在与边缘(14)邻近的区域中的至少一个应力释放结构。金属衬底结构(10)进一...
该专利属于日立能源瑞士股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过日立能源瑞士股份公司授权不得商用。
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