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本发明涉及气相沉积设备技术领域，具体涉及一种提高负极材料电化学性能的化学气相沉积设备，包括反应箱，所述反应箱的顶端设置有盖板，所述盖板的上方设置有储料箱，所述储料箱的底端固定安装有连通管，所述连通管穿过所述盖板，并与所述反应箱连通，所述反应...
该专利属于浙江维思通新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江维思通新材料有限公司授权不得商用。

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