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本发明的目的是提供一种具有安全保护机制的准分子激光装置及控制方法，通过在在激光装置内部的多个重要部件上部署温控装置，并且将所有温控装置进行PID多级联动，根据预设的各部件温度波动对其他部件温度波动所产生的影响，建立一套PID控制数学模型，通...
该专利属于文皓（武汉）科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过文皓（武汉）科技有限责任公司授权不得商用。

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