下载单晶炉的技术资料

文档序号:39185659

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本公开实施例中提供单晶炉,其包括:位于炉腔(10a)内的坩埚(11)及设置于坩埚(11)外周侧的第一加热装置(12);磁场生成装置(13),设置于炉腔(10a)内,位于第一加热装置(12)远离坩埚(11)的一侧,并与炉体(10)安装;围绕磁...
该专利属于天合光能(青海)晶硅有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天合光能(青海)晶硅有限公司授权不得商用。

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