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在硅基绝缘层上生长大面积高性能空穴导电二硒化钨单晶的方法技术
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下载在硅基绝缘层上生长大面积高性能空穴导电二硒化钨单晶的方法的技术资料
文档序号:39184966
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本发明公开了一种在硅基绝缘层上生长大面积高性能空穴导电二硒化钨单晶的方法。该方法是利用熔融盐与钨源反应生成更低熔点更高蒸气压的中间产物,使得硅基底上的氧化硅或高介电常数绝缘层上更易基于化学气相沉积的原理生长二硒化钨单晶,同时通过改变衬底放置...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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