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基于蓝宝石衬底外延的准垂直器件及其制备方法技术
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下载基于蓝宝石衬底外延的准垂直器件及其制备方法的技术资料
文档序号:39177593
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本发明公开了一种基于蓝宝石衬底外延的准垂直器件及其制备方法,包括:衬底;p型氧化物异质外延层,位于衬底上;氧化镓外延层,位于p型氧化物异质外延层上;p型氧化物异质外延层与氧化镓外延层共同组成复合栅结构;阴极金属,位于氧化镓外延层上;阳极金属...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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