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本发明涉及等离子体物理及应用科学研究领域，公开了一种微波等离子体装置，包括谐振腔、真空腔以及依次连接的微波发生器、环形器、三销钉微波调谐器、微波模式转换器、短路活塞，谐振腔的两端分别连接微波模式转换器和真空腔，微波模式转换器上设有伸入谐振腔...
该专利属于湖南微朗科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南微朗科技有限公司授权不得商用。

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