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本发明提供一种基于多点检测的焦面调平方法，该方法包括：利用计算机对样品待曝光区域进行网格划分；记录每一格点的x，y轴坐标；针对每一格点，采集检测光束聚焦在该格点的聚焦图像，利用计算机控制移动台的z轴高度，将该格点的聚焦图像与标准图像数据的差...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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