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提供一种在线膜厚测量装置以及在线膜厚测量方法。在线膜厚测量装置用于安装在气相运输沉积的沉积室上。沉积室设有透窗。在线膜厚测量装置包括固定架、测点定位装置、膜厚测试仪、第一运动装置和第二运动装置。固定架安装在沉积室上。测点定位装置具有光发射器...
该专利属于江苏先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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