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本发明公开了一种粗磨晶棒中心偏移值的测量方法及精磨磨削的方法，所述测量方法包括以下步骤：1)通过一侧磨头上的探针测量粗磨晶棒的第一面部和小台面的中心M之间的垂直距离b；2)将粗磨晶棒旋转180
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该专利属于双良硅材料（包头）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过双良硅材料（包头）有限公司授权不得商用。

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