温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种微纳结构的薄膜传感器及其制备方法，该微纳结构的薄膜传感器包括对位设置的第一聚合物薄膜和第二聚合物薄膜，且第一聚合物薄膜一侧设置有微纳结构；第一聚合物薄膜和第二聚合物薄膜用于作为两个摩擦层；两个摩擦层相反的两侧分别设置有第一导...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。