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本实用新型提供了一种PVD自动上下料设备，涉及HJT电池片镀膜技术领域。该PVD自动上下料设备包括上料组件、第一搬运装置、镀膜装置、下料组件、第二搬运装置，上料组件包括第一上料件和第二上料件，下料组件包括第一下料件以及第二下料件，第一搬运装...
该专利属于广东利元亨智能装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东利元亨智能装备股份有限公司授权不得商用。

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