下载一种还原炉炉筒自动清洗系统的技术资料

文档序号:39123028

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本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种还原炉炉筒自动清洗系统,其包括:清洗执行系统、清洗保障系统和烘干系统;清洗执行系统包括:离心泵一、加热装置、加压装置和清洗机构;加热装置的输入端与离心泵一的输出端连通;加压装置的输入端与加热装置...
该专利属于内蒙古大全新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古大全新能源有限公司授权不得商用。

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