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本发明公开了一种实时高精密膜厚监测系统，涉及真空镀膜领域。包括：一套带冷却系统的膜厚探头、一个振荡器电路、一个信号转置滤波电路、一个基于TTL电平的高频计数系统、一个485通信系统、一个交互式触控屏控制显示界面。本发明可以实现在高精密真空系...
该专利属于阳明量子科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阳明量子科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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