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提供一种激光装置。激光装置包括：光源部，发出激光束；光路调整部，将从光源部发出的激光束反射而调节照射方向；光分配部，将从光路调整部反射的激光束分割为多个子光束并照射到基板；驱动部，使光分配部移动而调整光分配部和基板的相对位置；感应部，感应从...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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