下载一种多晶硅冷氢化反应器气流分布板的技术资料

文档序号:39105060

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本实用新型公开了一种多晶硅冷氢化反应器气流分布板,包括分布组件,所述分布组件设置有第一圆板、第二圆板,所述第一圆板、第二圆板之间设置有固定环板;所述第一圆板、第二圆板之间设置有腔体,所述第一圆板上开设有多组第一分布孔,所述第二圆板上开设有多...
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