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本实用新型属于半导体清洗领域,特别涉及一种半导体清洗栏,它解决了手动捡运半导体清洗作业效率低的问题。本半导体清洗栏,包括底盘,所述的底盘外围设有侧围板,所述的侧围板上设有导液结构,所述的底盘和侧围板之间设有能够防止底盘上半导体通过导液结构脱...该专利属于浙江科赛新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江科赛新材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于半导体清洗领域,特别涉及一种半导体清洗栏,它解决了手动捡运半导体清洗作业效率低的问题。本半导体清洗栏,包括底盘,所述的底盘外围设有侧围板,所述的侧围板上设有导液结构,所述的底盘和侧围板之间设有能够防止底盘上半导体通过导液结构脱...