下载准分子灯的技术资料

文档序号:3908664

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提供一种准分子灯,具备由含有二氧化硅的微小粒子构成的紫外线反射层,即使长时间点灯,也可抑制照度下降的程度,有效地射出真空紫外光。一种准分子灯(10),包括具有放电空间(S)的、由二氧化硅玻璃构成的放电容器(20),以夹着形成该放电容器(20...
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