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一种氮化镓外延片转运用固定装置制造方法及图纸
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下载一种氮化镓外延片转运用固定装置的技术资料
文档序号:39085724
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本实用新型公开了一种氮化镓外延片转运用固定装置,涉及外延片转运技术领域;而本实用新型包括运载箱,运载箱内壁的两侧均设置有多个限位缓冲机构,限位缓冲机构之间设置有防护机构;限位缓冲机构包括对称分布的滑槽,滑槽开设在运载箱的内壁,滑槽的内部均固...
该专利属于南京百识电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京百识电子科技有限公司授权不得商用。
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