下载一种氮化镓外延片转运用固定装置的技术资料

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本实用新型公开了一种氮化镓外延片转运用固定装置,涉及外延片转运技术领域;而本实用新型包括运载箱,运载箱内壁的两侧均设置有多个限位缓冲机构,限位缓冲机构之间设置有防护机构;限位缓冲机构包括对称分布的滑槽,滑槽开设在运载箱的内壁,滑槽的内部均固...
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