温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了用于半导体工件的自动化搬运系统、方法、设备与介质，具体涉及自动化搬运技术领域，包括历史数据收集模块，用于采集机械手的历史搬运阶段中气泵的吸力值，将采集的吸力值建立吸力值时间序列集合，吸力值时间序列集合含有搬运阶段中与r个转折时间...
该专利属于泓浒（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泓浒（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。