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一种拓扑相变忆阻器及其制备方法和应用技术
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文档序号:39069543
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本发明提出了一种拓扑相变忆阻器及其制备方法和应用,其制备步骤为:采用脉冲激光沉积法在衬底层表面沉积底电极层;在氧气气氛中进行原位退火处理,促使氧离子富集于所述底电极层表面;采用脉冲激光沉积法在所述底电极层表面沉积阻变层,使阻变层与底电极层之...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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