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本申请公开了一种热光移相器，包括：衬底；包覆层，包覆层形成在衬底上方；芯层波导,芯层波导形成在包覆层内部；加热层,加热层形成在芯层波导的侧面；传热结构,传热结构同时与加热层及芯层波导相接，形成在芯层波导和加热层的上方和/或下方，用于将加热层...
该专利属于国科光芯（海宁）科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国科光芯（海宁）科技股份有限公司授权不得商用。

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