下载具有高沟道密度强短路能力的SiC功率半导体器件的技术资料

文档序号:39056981

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本发明涉及一种具有高沟道密度强短路能力的SiC功率半导体器件,属于功率半导体器件的技术领域。其包括对任一平面型元胞,包括位于所述有源区内的第一类导电沟道;在有源区内,还包括用于增加沟道密度的第二类导电沟道,其中,第一类导电沟道、第二类导电沟...
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