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具有高沟道密度强短路能力的SiC功率半导体器件制造技术
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下载具有高沟道密度强短路能力的SiC功率半导体器件的技术资料
文档序号:39056981
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本发明涉及一种具有高沟道密度强短路能力的SiC功率半导体器件,属于功率半导体器件的技术领域。其包括对任一平面型元胞,包括位于所述有源区内的第一类导电沟道;在有源区内,还包括用于增加沟道密度的第二类导电沟道,其中,第一类导电沟道、第二类导电沟...
该专利属于青岛中微创芯电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛中微创芯电子有限公司授权不得商用。
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