下载一种基于扫频白光干涉的量块测量装置及测量方法的技术资料

文档序号:39056670

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本发明公开了一种基于扫频白光干涉的量块测量装置及测量方法,涉及量块测量技术领域,所述装置包括扫频激光器、第三分光棱镜、第一反射镜、第一分光棱镜、第二反射镜、待测量块、第三反射镜、第二分光棱镜、光电探测器、数据处理端,本发明采用高灵敏度、高稳...
该专利属于东北大学秦皇岛分校所有,仅供学习研究参考,未经过东北大学秦皇岛分校授权不得商用。

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