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一种高耐压的增强型CAVET及其制备方法技术
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文档序号:39049045
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本发明涉及一种高耐压的增强型CAVET及其制备方法,包括设置于衬底上的缓冲层,设置于缓冲层上的电流孔径层和对称设置于电流孔径层两侧的第一凹形电流阻挡结构和第二凹形电流阻挡结构,位于电流孔径层和凹形电流阻挡结构上的沟道层和势垒层,势垒层上设置...
该专利属于华南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南师范大学授权不得商用。
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